PIEZOSYSTEM  X軸位移臺(tái)-測(cè)量

運(yùn)動(dòng)范圍達(dá) 700 微米

高精度、快速響應(yīng)，適用于大質(zhì)量樣品

可適用于動(dòng)態(tài)應(yīng)用

X軸位移臺(tái)通常用于精密定位和運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用，具有以下特點(diǎn)：

高達(dá)900毫米的運(yùn)動(dòng)范圍：X軸位移臺(tái)能夠在X軸方向上實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)達(dá)900毫米的運(yùn)動(dòng)范圍，適用于需要大范圍移動(dòng)的應(yīng)用景。

亞納米分辨率：位移臺(tái)具有分辨率，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的精確定位，適用于對(duì)位置精度要求很高的實(shí)驗(yàn)和工

程任務(wù)。

出色的軌跡精確度：X軸位移臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)平滑的運(yùn)動(dòng)軌跡，保證運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的穩(wěn)定性和精確性，適用于需要高

精度運(yùn)動(dòng)控制的場(chǎng)合。

PZ 250 CAP WL專為直徑達(dá)12英寸的半導(dǎo)體晶片的精確定位而開發(fā)。致動(dòng)器在Z方向上提供250 μm的運(yùn)動(dòng)行程。可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精度。可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地保持特定的位置。由于其高硬度，PZ 250蓋WL可以承載高達(dá)3公斤的負(fù)荷。

在PIEZOSYSTEM品牌中

1、同一系列的不同型號(hào)之間，主要差別在于行程，以及行程不同引起的精度差異、尺寸差異等，例如：

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